熊本県産業技術センター

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外観検査自動化のための評価システム -外観検査自動化普及のための評価システム開発-

背景

半導体等の製造企業では、製品の製造過程や完成した後に、目視で外観上の検査を行っています。しかし、近年の製品微細化により、外観検査自動化の必要性が高まっています。当センターでも自動化の取り組みを行っていますが、開発した処理方法がうまく機能するか評価する必要があります。そこで、本研究では、高精細画像を取り込み、その処理方法の性能評価を行うための評価システムを試作しました。

研究内容

微細欠陥検出のためには、高精細画像を取り込む必要があります。 そのため、今回のシステムでは通常のカメラのようなエリアセンサでは なく、1ラインずつ画像を取り込むラインセンサを用い、ステージと連動 させながら画像を取り込む評価システムを試作しました。これにより、 高精細画像処理を行う際の処理時間等実用化に向けた性能評価が 可能となりました。

評価システムの概要

右の例は、半導体用のリードフレームに生じた光沢むらを検出した例です。本研究の手法で見えにくい欠陥を検出しています。

問い合わせ先

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